采用多项自主知识产权的化学气相沉积系统,温度1100℃、1500℃、1700℃可选择,MFC多路气体可选,真空度测量范围可选,压强调节可选。 景恒科技推出箱式气相沉积系统、箱式CVD系统,国内多所一流高校研究所使用。